一般，按加工精度區分，機械加工可分為一般加工、精密機械加工、超精密機械加工三個階段。
現在，精密機械加工是指加工精度為1~0.1?m，外表粗糙度為Ra0.1~0.01?m的加工技能，但這個界限是隨著加工技能的前進不斷變化的，今天的精密機械加工可能就是明天的一般加工。
精密機械加工所要解決的問題：
一是加工精度，包含形位公差、尺度精度及外表情況；
二是加工功率，有些加工能夠獲得較好的加工精度，卻難以獲得高的加工功率。精密機械加工包含微細加工和超微細加工、光整加工等加工技能。傳統的精密機械加工方法有砂帶磨削、精密切削、珩磨、精密研磨與拋光等.
超精密機械加工包含哪些呢？
超精密機械加工包含微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技能。微細加工技能是指制作細小尺度零件的加工技能；超微細加工技能是指制作超細小尺度零件的加工技能，它們是針對集成電路的制作要求而提出的，由于尺度細小，其精度是用切除尺度的絕對值來表明，而不是用所加工尺度與尺度差錯的比值來表明。光整加工一般是指下降外表粗糙度和進步外表層力學機械性質的加工方法，不著重于進步加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及無屑加工等。實際上，這些加工方法不僅能進步外表質量，并且能夠進步加工精度。精整加工是近年來提出的一個新的名詞術語，它與光整加工是對應的，是指既要下降外表粗糙度和進步外表層力學機械性質，又要進步加工精度(包含尺度、形狀、位置精度)的加工方法。
現在超精密機械加工的精度情況如何？
現在世界上超精密機械加工達到的最高技能水平如下：加工精度0.025μm，外表粗糙度Ra0.0045μm，即已進入了納米級加工精度的時代。在丈量技能方面，對小位移的丈量：電容式測頭分辨率可做到0.5nm(量程為15μm)和0.1nm(量程為5μm)，線性差錯小于0.1%；光電子纖維光學測頭的分辨率可到0.5nm(量程為30μm)，線性差錯為5%；掃描隧道顯微鏡(STM)的分辨率可達0.01nm(量程20mm時)；X射線干涉儀的分辨率還做到0.003nm(量程200μm時)。對大長度尺度的丈量，外差式激光干涉儀的分辨率可做到1.25nm(量程±2.6m)；氦氖激光(實驗室)的分辨率可做到0.01μm(量程為2mm)；莫爾條紋光學尺的分辨率可做到10nm(量程1m)，精度為1μm/m。對視點丈量，莫爾條紋視點光學尺的分辨率可做到0.005"(360°范圍)，精度0.1"，因此丈量方面基本上滿足了納米級加工技能要求。
怎么區分精密機械加工和超精密機械加工？
一般稱低于3 μm精度的加工為普通精度，而高于此值的加工則你之為超精度加工。
在高精度訓工的范疇內，依據精度水平的不同，分為三個檔次:
精度為3～O．3 μm，粗糙度為O．3～O·03μm的叫精密機械加工；
精度為0．3～0．03 μm，粗糙度為0．03～0．005 μm的叫超精密機械加工，或亞微米加工；
精度為0．03 μm（30納米），粗糙度優于0．005 μm以上的則稱為納米（nm）加工。
